MX61/MX61L OLYMPUS金相显微镜

MX61/MX61L OLYMPUS金相显微镜
MX61/MX61L OLYMPUS金相显微镜MX61/MX61L OLYMPUS金相显微镜MX61/MX61L OLYMPUS金相显微镜MX61/MX61L OLYMPUS金相显微镜

奥林巴斯 MX61/MX61L 产品特点缩短检查用时,提高检查效率自动聚焦附件 MX-AF透射光检查照明 MX-TILLA/MX-TILLBMX专用的自动聚焦附件可配合所有的反射光照明观察方式,甚至包括暗视场和微分干涉相衬观察。实现快速和精确的自动对焦,甚至观察方式转换时也能实时准确的找到焦面。

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景通光学仪器厂友情提示:

由于该产品已多次升级和更新,我们无法保证MX61/MX61L OLYMPUS金相显微镜提供的图片和各项参数等信息均为最新信息,为此建议您点击此处联系我们的工程师,他将根据您的需求为您提供全面服务,同时我们也欢迎您的来电:!

MX61/MX61L 产品介绍

奥林巴斯 MX61/MX61L 产品特点缩短检查用时,提高检查效率自动聚焦附件 MX-AF透射光检查照明 MX-TILLA/MX-TILLBMX专用的自动聚焦附件可配合所有的反射光照明观察方式,甚至包括暗视场和微分干涉相衬观察。实现快速和精确的自动对焦,甚至观察方式转换时也能实时准确的找到焦面。两种照明装置可选,通用型及高数值孔径型。为FPD,MASK板检查提供合适的照明,并且可配备起偏镜,实现投射光简易偏光观察。高反差,更高分辨率,更高倍率检查用于光刻胶残留检查的荧光观察方式共聚焦附件 U-CFU荧光分光镜模块共聚焦光学系统可以提供更高的反差和分辨率,分辨率可达0.18μm,并可对多层线条的器件分层对焦,获得高分辨率,高反差的共焦图像。

备有U.B.G等多种荧光方式可选,用于光颗胶残留以及OLED检查。方便的通讯接口用于显微镜倍率和孔径光阑的控制和参数获得 RS232C用于晶圆以及器件,甚至焊脚的内部检查 近红外线观察附件MX61/MX61L标配包括一个RS232C接口,使得用PC控制显微镜电动部分成为可能,并且可以实现使工艺线上的几台显微镜都在同样的设定状态下工作。包括专门的红外物镜等附件,对从可见光到近红外波段光线的像差做矫正,用于IC深层或内部检查,可实现对WAFER BUMP的全面检查。

 

   ○  大型载物台搭载:可用于400*300mm液晶基板,300mm晶圆全面检查(MX61L)

 

   ○  采用高NA的透射光聚光镜,图象更锐利

 

   ○  多种观察方式,多种照明方式,多种附件以满足不同应用要求

 

   ○  透射和反射照明可同时使用,极大提高液晶基板观察效果

 

MX61/MX61L 技术参数与规格

型号

MX61

MX61L

光学系统

UIS2光学系统(无限远校正光学系统)

显微镜

镜体

反射照明

(视场数26.5)

12V,100W卤素灯泡(预定心型)

明视场/暗视场反射镜可外加1个分光镜(选配)转换使用

内置电动孔径光阑(每全物镜可预设,暗视场观测时自动打开

透射照明

(视场数26.5)

进行透射照明时要配合使用MX-TILLA或MX-TILLB

采用LG-PS2型光源和LG-SF型光源附件(12V 100W卤素灯)或同光源进行照明

MX-TILLA:聚光镜(数值孔径0.5),带孔径光阑

MX-TILLB:聚光镜(数值孔径0.6),带孔径光阑和视场光阑

观察方式

1、反射照明法  2、发射暗视场法  3、反射诺曼尔斯微分干涉法  4、反射简易偏振光法

5、反射荧光法  6、反射IR照明法  7、透射明场法8、透射简易偏振光法

*3、4、5、需要专门的分光镜组(可选)  *7、8、需要与透射照明部件配合使用

观察筒

超宽视场正像倾斜三目观察筒(视场数26.5):MX-SWETTR型其它:超宽视场三目观察筒/广角视场双目观察筒

超宽视场正像倾斜三目观察筒(视场数26.5):MX-SWETTR型或U-SWETTR型

(MX-SWETTR是MX61L的标准配置)

物镜转换器

六孔电动物镜转换器,配备滑槽,用于微分干涉法观测:U-D6REMC型

明/暗视场五孔电动物镜转换器,配备滑配槽,用于微分干涉法观测:U-D5BDREMC型

明/暗视场六孔电动物镜转换器,配备滑配槽,用于微分干涉法观测:U-D6BDREMC型

明/暗视场中心输出五孔电动物镜转换器,配备滑槽,用于微分干涉法观测:U-P5BDREMC型

通过显微镜前面板上的物镜转换按钮或直接通过U-HSTR2(用户指定)手动开关控制转换

载物台

MX-SIC8R8×8  inch载物台

行程:210×210mm(透射照明面积189×189mm)

MX-SIC6A×6  inch载物台

行程:158×158mm(反射光仅在配备MX61时使用)

MX-SICI412R2  14×12 inch载物台

行程:356×305mm(透射照明面积:356×284mm  

与MX-TILLB配合使用

滚柱导块结构,带式驱动系统(无齿条),离合功能(带式驱动脱离系统)

能耗

内置反射光源:100-120/220-240V-1.9/0.9A 50/60Hz

透射光源:(LG-PS2):100-120/220-240V-3.0/108A 50/60Hz

外形尺寸/重量

尺寸:约509(W)×843(D)×507(H)mm

重量:约40Kg(仅镜体约27Kg)

尺寸:约710(W)×843(D)×507(H)mm

重量:约51Kg(仅镜体约31Kg)

 

 MX61/MX61L 详细介绍

      MX61/MX61L,300mm/200mm半导体检查显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法(D/C)、荧光法、红外线法和深紫外线法,保证了卓越的图像分辨率和鲜明度。

 

 考虑了检查效率的设计

 

   ○  主要操作集中配置在前面板上

       在对比度的决定上起重要作用的孔径光阑(AS)的开闭调节,与物镜的切换和观察模式连动,用一个按钮就可以操作。此外,用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上,从而提高了检查速度。物镜和孔径光阑(AS)的按钮分别斜向配置,手不离开对焦手柄,只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知度,能够防止错误操作。

2015113059818077.png[1]照明强度旋钮 [2]物镜倍率切换 [3]孔径光阑调节

 

 

 

   ○  观察姿势迅速到位的倾斜镜筒

       为了使用视点而调整座椅的高度,或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间,降低工作速度。但是,配备倾斜角度为0°-42°(可变高度为150mm,SEMI S8)的倾斜镜筒,可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势,甚至可以站立检查。此外,这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离,可以在较大的平台上轻松操作。

2015113059955965.png倾斜镜筒示意图

 

 

 

   ○  高灵敏度载物台可以迅速决定位置

       对应300mm晶圆/17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围(Y方向284mm)。另外,内置离合器的载物台手柄,可切换粗调和微调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台,快速完成检查。

2015113060020325.png内置离合器的载物台手柄

 

 

 

 

鲜明图像和卓越的分辨率为特点的光学系

 

   ○  多种选择可实现卓越的成像性能

      物镜是涉及到样品的照明和观察的重要部件,奥林巴斯有应对多种多样的观察方法、长工作距离、红外光及LCD检查用的齐全的物镜产品阵容可供选择。

 

 观察影像实例:

 

2015113060079917.png2015113060080061.png2015113060080217.png2015113060080325.png

 

        明视场观察                                暗视场观察                           微分干涉观察                       荧光观察

 

 

软件方案

 

   ○  实现数字成像

      MX61/MX61L配备了PC界面,可以读取显微镜的电动功能。因此,捕获影像时可以自动保存物镜倍率,为日后处理和分析影像提供可靠的影像信息。

 

   ○  使用数码照相机记录和保存数码影像

      三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像,帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。

 

 支持缺陷检测的多种功能

   ○  快速切换物镜,提高检查速度

      电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换,可以操作按钮瞬间完成,提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外,UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机,在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。

2015120136127733.png

 

 

   ○  变换物镜,孔径光阑(AS)也随之调节

      每次变换物镜时都需要调节孔径光阑(AS)的话,会影响检查速度。MX61/MX61L对每个物镜都可以设置观察方法和AS(14级),只要切换物镜就能以最合适的对比度进行观察。在变换物镜和切换观察模式时不再需要花时间调节AS,提高速度的同时减轻了操作员的疲劳。

2015113060310857.pngAS自动调节示意图

 

 

 帮助实现多种观察的附件

   ○  安全快速的搬运晶圆

       MX61/MX61L能与自动晶圆搬送机组合,组合后的尺寸也被设计得很小。能够无接触、安全和快速的执行从内面的宏观检查到围观检查等多种任务。此外,晶圆盒还可以从前面轻松设置。如果使用选件的遥控器,那么不良晶圆的登录、开始和保存都可以在手中快速完成。

2015113060368405.png自动晶圆搬送机AL110(200mm规格)组合

 

 

 

   ○  近红外观察单元

       由可见光线领域到近红外线领域的象差校正物镜,和红外线用超广角三目镜筒等,对应近红外线的装置备有各种型号。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。

 

2015113060436589.png2015113060436809.png

         近红外线观察单元                                                       粘合衬垫

 

 

 

   ○  荧光观察单元

      在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察。备有U.B.G激励的反射镜装置,可有效地检查和分析有机EL和残留光刻胶。

 

2015113060515325.png2015113060515561.png

 

            荧光镜观察                                                               荧光观察

 

 

 

   ○  透射照明单元

       对应光掩模和FPD检查的透射照明单元。偏振光片的搭载,实现了透射简易偏振光观察。有通用的A型号和高NA(数值孔径)的B型号两种型号。

2015113060559809.png透射照明单元