CMY-500BD明暗场金相显微镜(半导体工业硅片制造业样品观察)


CMY-500BD明暗场金相显微镜(半导体工业硅片制造业样品观察)

CMY-500BD明暗场金相显微镜(半导体工业硅片制造业样品观察)
CMY-500BD明暗场金相显微镜(半导体工业硅片制造业样品观察)

CMY-500BD研究型明暗场金相显微镜是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业需求而开发的,可广泛应用于半导体、FPD、电路封装、电路基板、材料、铸件、金属、陶瓷部件、精密模具的检测。本仪器采用了反射和透射两种照明形式,在反射光照明下可进行明暗场观察(选购DIC装置)、偏光观察。在透射光下作明场观察。

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CMY-500BD研究型明暗场金相显微镜是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业需求而开发的,可广泛应用于半导体、FPD、电路封装、电路基板、材料、铸件、金属、陶瓷部件、精密模具的检测。本仪器采用了反射和透射两种照明形式,在反射光照明下可进行明暗场观察(选购DIC装置)、偏光观察。在透射光下作明场观察。

显微镜参数:

序 号

名  称

技术参数

1

平场目镜

大视野 WF10X(Φ22mm)

2

无限远长距平场明暗场物镜

放大倍率:5X、10X、20X、40X(选购)、50X、100X(选购)

数值孔径(N.A):0.1、0.25、0.40、0.6、0.55、0.9

工作距离(mm):29.4、16、10.6、5.4、5.1、4

3

总放大倍数

50X-500X

4

观察头

三目镜,倾斜30˚,(内置检偏振片,可进行切换)

5

转换器

带DIC插孔四孔转换器

6

粗微调调焦范围

粗、微动同轴调焦,采用齿轮齿条传动机构.微动格值0.002mm

7

载物台

机械式载物台,外形尺寸:: 189mm×160mm移动范围:80mm×50mm

8

光瞳距离

50-75mm

9

滤色片

插板式滤色片(绿、蓝、中性)

10

偏光装置

偏镜可360度转动,起偏镜、检偏镜均可移出光路

11

照明系统

透射照明:卤素灯12V/50W, AC85V-230V,亮度可调节

射照明:带孔径光栏和视场光栏,卤素灯12V/50W,AC85V-230V, 亮度可调节

 

12

仪器重量

净重11.0公斤    毛重12.5公斤

13

仪器尺寸

仪器尺寸44X45X42(cm) 包装尺寸45X50X50(cm)

选购件

1、显微镜选购件:

序号

名称

技术参数

1

目镜

16X(Φ11mm) 

2

测微目镜

10X(Φ20mm)

3

平场无限远长工作距离明暗场物镜

平场无限远长工作距离明暗场物镜:

80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm

4

物镜测微尺

0.01mm

5

DIC微分干涉装置

微分干涉相衬插板及物镜

6

落射照明

卤素灯12V/100W, AC85V-230V,亮度可调节

7

透射光源

底座可加透射光源6V20W独立控制

2、摄像系统选购:

序号

名称

参数及功能

1

CMOS数字摄像头  

300万、500万、900万、1400万、1800万(具有单张、定时采集图像、录像、显示比例尺、测量、图像拼接,融合等功能,并可以连接多媒体、打印、EMAIL等多种输出方式。)

2

CCD数字摄像头

140万、200万、500万(具有单张、定时采集图像、录像、显示比例尺、测量、图像拼接,融合等功能,并可以连接多媒体、打印、EMAIL等多种输出方式。)

3

高清模拟摄像头

日本JVC、松下及国产品牌580线(具有单张、定时采集图像,录像,叠加比例尺、测量、连接多媒体,打印输出等功能)

4

单反数码相机

佳能、尼康、莱卡等千万级以上像素单反相机(具有拍照、录像等功能)

3、分析软件选购:

序号

名称

参数及功能

1

基本测量软件JT-C

可单张、定时、连续采集;可显示标尺、放大倍数;可对显微图像进行长度、角度、半径、周长、面积等多种测量;可以连接多媒体、打印、EMAIL等多种方式输出。

2

金相分析软件JT-J

包含多达600项左右完全符合GB、YB、JB、ASTM等标准自动评级项目,具有对金相图像进行自动评级、图谱比对、定标测量、定倍打印、查看图谱、输出报表和图像融合等多种功能。

3

矿相分析软件JT-K

通过对显微图像的优化着色处理及测量来对矿相进行定量分析。可单张、连续采集;可显示标尺;可对显微图像进行长度、角度、半径、周长、面积等多种测量;可以连接多媒体、打印、EMAIL等多种方式输出。

4

粒度软件JT-L

包含所有基本测量功能,提取并计算不同颜色图像所占面积比例,可对视场内颗粒自动测量分析,并可按颗粒的粒径、面积、形状等多类参数以线性或非线性统计方式输出分布图和积分分布图,也可以得出D10、D50、D90等常用统计数据。可以连接多媒体、打印、EMAIL等多种方式输出

参数来源:https://www.pelttech.com/item_5_1001_0.shtml